ＰＤＰ製造装置
			エッチング装置
	＊洗浄装置 ＊レジスト現像装置 ＊レジスト剥離装置
	ＬＣＤ／ＣＦ製造装置
			洗浄装置
			ＣＦ現像装置
			ＩＴＯエッチング装置
	＊剥離装置